中圖儀器0.005nm粗糙度RMS重復(fù)性白光干涉儀形貌重復(fù)性達(dá)0.1nm，臺(tái)階測(cè)量準(zhǔn)確度僅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)。基于白光干涉技術(shù)與復(fù)合型EPSI重建算法，連續(xù)10次測(cè)量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)檢提供可信的量化依據(jù)。

SuperViewW工業(yè)表面3D檢測(cè)白光干涉儀可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperView W1系列納米級(jí)白光干涉三維形貌儀以0.1nm級(jí)分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，一站式解決超精密測(cè)量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測(cè)效率低等測(cè)量難題。應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體、3C電子等多行業(yè)場(chǎng)景，數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)檢測(cè)，賦能精密制造升級(jí)。

中圖儀器SuperView W系列0.1nm形貌重復(fù)性白光干涉儀一鍵完成單/多區(qū)域自動(dòng)測(cè)量、批量分析，編程測(cè)量功能可預(yù)設(shè)流程實(shí)現(xiàn)一鍵操作，單個(gè)精細(xì)器件測(cè)量用時(shí)短，大幅提升檢測(cè) throughput。

SuperViewW工業(yè)表面3D白光干涉檢測(cè)儀可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉3D表面輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。